LED外延片PL谱扫描成像仪/PL Mapping/PL谱仪

功能介绍

1. 检测外延片PL(光致发光)光谱和白光反射光谱。
2. 通过外延片PL光谱测量外延片逐点的:峰值波长(WLP)、主波长(WLD)、光谱半宽(HW)、积分光强(INT)、峰强度(PI)。
3. 通过白光反射光谱测量外延片逐点的:薄膜厚度(Thickness)和反射率(PR)。
4. 显示及输出各被测量参数的均值(Mean)、均方差(Std)、标准差率(CV)等结果,并以图形形式显示各项参数的Mapping分布。
5. 其他选配功能:
·  可选配多个激光器,最多可配4个激光器。
·  可配置测量各波长段(UV-VIS-NIR)DBR(分布布拉格反射)数据。
·  可配置外延片翘曲度测量功能。
·  可配置激光打标机。
·  可配置光功率传感器。(对应Photo Detector)

设备机型

IM-1130(移动机柜手动型PL谱仪):IM-1130型PL谱仪采用可移动机柜形式,方便操作,标准机型可测量2、4、6寸片,其中2寸片可一次测量4片,根据客户需要可配置一次测量9个2寸片的载物台。
 
IM-2040(倾斜料仓2、4寸自动型PL谱仪):IM-2000全自动型PL谱仪是针对2、4寸片专门设计的自动机型。该型号设备使用标准cassette料盒为载具,一次最多可放置3个料盒,共75片外延片。
 
IM-3000(双臂机械手型PL谱仪)IM-3000双臂机械手型PL谱选用柱坐标机械手自动取放片,自动正片,使用标准cassette料盒为载具,共设有3个工位,一次最多可测75只外延片。

海洋之神